主要技术参数
1、操作方式：人工放料至指定位置，机械手自动抓取放入真空腔内
2、真空腔内容积：＜10ml
3、真空腔数量：5（2组）
4、每腔检测产品数：1件
5、充氦压力：0.1MPa-0.2MPa
6、检测节拍：单组≤60s(不含人工操作时间)，双组联动≤30s;  6s检1件
7、检测精度：≤5.0E-9Pa·m³/s
8、真空腔采用快换方式，方便检测不同型号产品
9、检测过程全自动，操作简便
10、人机交互界面，方便维护
11、具有数据存储功能，可追溯检测数据